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MOCVD設備是LED藍寶石基片外延的專業設備,我公司是國內領先的MOCVD內部核心部件加熱器的設計、制造企業。
金屬有機物化學氣相淀積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,簡稱MOCVD)技術生長III-V族,II-VI族化合物及合金的薄層單晶的主要方法。 外延技術與設備是外延片制造技術的關鍵所在,MOCVD設備的核心部件加熱器尤為重要,我公司是國內領先的MOCVD內部核心部件加熱器的設計、制造企業。
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